測(cè)頭可分為接觸式測(cè)頭和非接觸式測(cè)頭（激光等類型）。

　　目前主要用接觸式測(cè)頭，接觸式測(cè)頭又可分為開關(guān)式（觸發(fā)式或動(dòng)態(tài)發(fā)訊式）與掃描式（比例式或靜態(tài)發(fā)訊式）兩大類

　　開關(guān)測(cè)頭的實(shí)質(zhì)是零位發(fā)訊開關(guān)，以TP6（RENISHAW）為例，它相當(dāng)于三對(duì)觸點(diǎn)串聯(lián)在電路中，當(dāng)測(cè)頭產(chǎn)生任一方向的位移時(shí)，均使任一觸點(diǎn)離開，電路斷開即可發(fā)訊計(jì)數(shù)。開關(guān)式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壽命長(zhǎng)（106~107）、具有較好的測(cè)量重復(fù)性（0.35~0.28μm），而且成本低廉，測(cè)量迅速，因而得到較為廣泛的應(yīng)用。

　　掃描式測(cè)頭實(shí)質(zhì)上相當(dāng)于X、Y、Z個(gè)方向皆為差動(dòng)電感測(cè)微儀，X、Y、Z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)是靠三個(gè)方向的平行片簧支撐，是無(wú)間隙轉(zhuǎn)動(dòng)，測(cè)頭的偏移量由線性電感器測(cè)出。掃描式測(cè)頭主要用來(lái)對(duì)復(fù)雜的曲線曲面實(shí)現(xiàn)測(cè)量。

　　非接觸測(cè)頭主要分為激光掃描測(cè)頭和視頻測(cè)頭兩種。

　　激光掃描測(cè)頭主要用于實(shí)現(xiàn)較軟材料或一些特征表面進(jìn)行非接觸測(cè)量。測(cè)頭在距離檢測(cè)工件一定距離（比如50mm），在其聚焦點(diǎn)!5mm范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量，采點(diǎn)速率在200點(diǎn)/秒以上。通過對(duì)大量采集數(shù)據(jù)的平均處理功能而獲得較高的精度。

　　視頻測(cè)頭進(jìn)一步提高了測(cè)量機(jī)的應(yīng)用，使得許多過去采用非接觸測(cè)量無(wú)法完成的任務(wù)得以完成。一些諸如印刷線路板、觸發(fā)器、墊片或直徑小于0.1mm的孔可采用視頻測(cè)頭進(jìn)行測(cè)量。操作者可將檢測(cè)工件表面放大50倍以上，采用標(biāo)準(zhǔn)的或可變換的鏡頭實(shí)現(xiàn)對(duì)細(xì)小工件的測(cè)量。